利用脉冲吹气所形成的峰值压力实现效吹气

・耗气量减少50%以上

用于精密洗净及洁净室组装。

导膜片式结构，低功能。

保护型膜片结构设计，寿命延长两倍。

配管方式可以任意角度安装，为增强寿命是水平管接线圈朝上。

线圈防护等IP65。

・全部产品均经过了氦气泄漏检测。

・符合SEMI规格

・采用方便作业的锻造主体。

・无需任何控制，即可产生脉冲!

速响应7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。

・内置快换管接头，便于配管。

・DIN连接　可对应防尘、防喷流型（IP65）。

・用于工件的吹气、吹扫。

・配管方式

　法兰型、法兰主体型、直管型

・2次侧的孔口无需加工，有助于削减配管工时。(法兰主体型)

・防护等：IP65。※

　※对于导线引出式的扁平端子型，其端子部分为IP40。

・对应温：使用流体温度100℃。

・追加了扁平端子型。

・可选控制器VXFC系列。

 

常见型号:

CP96SDB40-125C

CRB2BW30-90SZ

VM430-01-01S

VM430-01-00

VT315-024G

CDS2F125-250  

MGPM25-300Z

TQ0806-20 

TQ0604-20  

VT307V-5G1-01

CM2B32-25TZ

G46-7-02-SRA

气动放大器：IL100-02-L

CP96SDB125-200  

CDQ2A32-75DZ